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        等離子清洗機

        0755-81478611EN
        小型真空等離子表面處理機
        等離子表面處理機-小型等離子清洗機-等離子表面處理機廠家
        • PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機

        PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機

        類別:小型真空等離子表面處理機

        簡介: 低溫活化表面處理設備 等離子去膠機 晶圓等離子清洗裝置 小型等離子設備

        全國咨詢服務熱線:0755-81478611

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        • 產品特點
        • 應用領域
        PT-10SMT
        腔體材質: 石英耐熱玻璃
        供電電源: AC220V
        工作電流: 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
        射頻電源功率: 0-300W/0-600W可調(射頻匹配一體)
        射頻頻率: 13.56MHz
        頻率偏移量: 小于0.2KHz
        特性阻抗: 50歐姆,自動匹配
        真空度: 10pa-300Pa
        氣體路數: 雙路氣體輸入(高精密浮子流量計)
        氣體流量: 10—160ml/min(可調)
        過程控制: PLC人機界面自動與手動方式
        清洗時間: 1-9999秒鐘可調
        功率大?。?0%-100可調
        內腔尺寸:直徑200×深度320mm     10L
        外形尺寸: 650×550×580mm L×W×H
        真空泵: 飛越真空泵VRD-8(含油霧過濾器)
        真空室溫度: 小于30°C

        冷卻方式: 強制風冷


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